第三代半导体材料及应用联合创新基地项目（一期）职业病危害预评价报告
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报告名称 |
第三代半导体材料及应用联合创新基地项目（一期）职业病危害预评价报告 |
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建设单位（用人单位）名称 |
北京国联万众半导体科技有限公司 |
联系人 |
李少鹏 |
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地理位置 |
北京市顺义区高丽营镇中关村临空国际高新技术产业基地内 |
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项目名称 |
第三代半导体材料及应用联合创新基地项目（一期） |
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项目简介 |
建设项目以SiC衬底材料为原料，采用清洗、光刻、刻蚀、薄膜、蒸发溅射等工艺，建成后将形成年加工6英寸第三代半导体晶圆24万片能力。 |
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评价人员 |
项目负责人 |
于迎芳 |
报告编制人 |
范凤杰、段程鑫、马立晶 |
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现场调查人员 |
—— |
时间 |
2019.1.17 |
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采样人员 |
—— |
时间 |
—— |
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检测人员 |
—— |
时间 |
—— |
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建设项目（用人单位）存在的职业病危害因素及检测结果 |
建设项目存在的主要职业病危害因素为噪声，检测结果满足限值要求。 |
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评价结论 与建议 |
结论： 按照《国民经济行业分类》（GB/T4754-2017），拟建项目属于计算机、通信和其他电子设备制造中的电子元件制造业。 依据《建设项目职业病危害风险分类管理目录（2012年版）》（安监总安健[2012]73号），拟建项目职业病危害风险分类为较重。 拟建项目以SiC衬底材料为原料，经清洗、光刻、刻蚀、薄膜、蒸发溅射、磨划片等工艺，制成SiC 6英寸晶圆片或GaN功率器件，具备半导体材料生产行业特点，生产过程中产生的职业病危害因素包括硫酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、过氧化氢、氨、氯、硅烷、二氯硅烷、噪声等，根据工程分析、拟采取的职业病危害防护设施、类比调查与评价，拟建项目运行过程中存在发生职业中毒、噪声聋、化学性灼伤等风险，经综合分析，本报告认为拟建项目为职业病危害较重的建设项目。 |
建议： （1）正常生产条件下氯、氨、硫酸等有害物质浓度可控制在职业接触限值范围内。但在事故状态下可能出现物料的大量泄漏，导致操作人员急性中毒、化学灼伤等事故发生。类比项目运行至今，未发生职业病和急性职业病危害事故，但类比企业曾发生过急性中毒事故，因此，建设单位在建设过程或今后运行过程中，尽量选择有利于职业病防治和保护劳动者健康的新技术、新工艺和新材料，采用密闭化、机械化、自动化生产工艺，实现劳动者远距离操作，运行过程中高度重视生产装置中管线、阀门、仪表等的日常维护和检修，杜绝物料的跑、冒、滴、漏。加强有毒气体检测报警仪的管理和维护，按规定的时间和程序进行检定，确保正常运行，并做好运行记录。针对氨、氯等毒性大、挥发性强、可能在短时间内导致大量泄漏与扩散的化学品应急救援预案应予以落实，并通过日常演练加以完善。 （2）项目运行过程中，建设单位应定期对员工进行职业卫生培训教育和考核，加大对防护用品使用的监督检查力度，教育职工增强个人防护用品佩戴意识，严格按岗位职业卫生操作规程进行作业，最大限度降低职业危害。 （3）拟建项目在进行维护检修时，由于通风置换不彻底，可能发生急性中毒、窒息等事故，检修人员进入密闭容器检修前，应进行充分的空气置换排出其内部的有毒气体；经检测合格、检修人员佩戴好防护用具后才能进入密闭空间，作业时应安排专人进行监护。密闭空间作业过程中应执行《密闭空间作业职业危害防护规范》有关规定。 （4）拟建项目施工前，应进行职业病防护设施设计，项目投产后，在试运行30日～180日内应进行职业病危害控制效果评价。 （5）建设项目职业病危害预评价报告通过评审后，建设项目的生产规模、工艺等发生变更导致职业病危害风险发生重大变化的，建设单位应当对变更内容重新进行职业病危害预评价和评审。 |
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专家组评审 意见 |
根据《建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理办法》规定，北京国联万众半导体科技有限公司于2019年3月15日在中国电科十三所办公楼二楼第二会议室，对第三代半导体材料及应用联合创新基地项目（一期）职业病危害预评价报告（以下简称预评价报告）组织了评审。评审会由李少鹏主持，由任清亮、张炳玉、董慧民组成评审组，任清亮担任评审组组长。评审组在听取了建设单位对该项目的介绍和评价单位对预评价报告编制情况和主要内容的汇报后，审阅了预评价报告及相关文件资料，并进行了质询。根据评审人员个人评审意见，经讨论形成如下评审组综合意见： 一、总体意见 1.《预评价报告》对施工过程中及建成后可能产生职业病危害因素的工作场所、工艺设备、技术材料等的描述完整； 2.《预评价报告》对建设项目施工过程中及建成后可能产生的职业病危害因素及对劳动者健康危害程度的分析和评价较全面； 3.建设项目职业病危害类型判定准确； 4.《预评价报告》对建设项目施工过程中及建成后拟设置的职业病防护设施和个体防护用品分析与评价正确； 5.《预评价报告》对建设单位职业卫生管理机构设置和职业卫生管理人员配置及有关制度建设的建议符合国家相关法律、法规、标准、规范要求； 6.《预评价报告》针对建设项目施工过程中及建成后提出的职业病防护措施和建议基本合理、可行，能够满足保护劳动者健康的要求； 7.《预评价报告》结论正确。 二、评价报告修改意见 1.补充完善建设内容，核实评价范围； 2.细化清洗、光刻等危害因素接触方式及操作过程，并对对应的应急救援设施进行评价； 3.专家提出的其他意见。 专家组组长：任清亮 专家组成员：张炳玉、董慧民 2019年3月15日 |
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